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CZ20i半自動(dòng)測(cè)座可實(shí)現(xiàn)俯仰、偏擺二軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)及定位，與雷尼紹MH20i測(cè)座可互換使用。

A、B軸都以15°為增量，可在空間168個(gè)可重復(fù)位置上實(shí)現(xiàn)定位。可直接加載測(cè)針或CF20模塊，兼容雷尼紹TP20模塊。

性能指標(biāo)

位置重復(fù)性：1.5μm（2σ）

分度定位（indexing)：

A軸分度： 0°-90°間隔15°

B軸分度： ±180°間隔15°

兼容測(cè)頭種類：CF20，TP20

尺寸：長(zhǎng)62mm，寬50mm

重量：300g